By Mathias Bründel
ISBN-10: 3866442211
ISBN-13: 9783866442214
Im Polymer PMMA wurden durch Hei?pr?gen sowohl stark f?hrende, passive optische Wellenleiter wie auch organische DFB-Laser hergestellt und charakterisiert. Die Replikation der Strukturen erfolgte dabei durch auf foundation von mit UV-und R?ntgenlithografie strukturierten Nickel-Shim-Formeins?tzen im LIGA-Verfahren.
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Additional resources for Herstellung photonischer Komponenten durch Heißprägen und UV-induzierte Brechzahlmodifikation von PMMA
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Deshalb wurden für die Formeinsätze drei Schichten aufgeschleudert (Drehzahl 450 -1 für 3 min) und nach jedem Aufschleudern bei 180 °C ausgeheizt. Dabei ist zu bemerken, dass die zweite und dritte Schicht eine geringfügig höhere Dicke aufweisen als die erste Schicht. Dies ist auf die Aufnahme von Lösungsmittel in den bereits ausgeheizten Resist und die damit verbundene Viskositätserhöhung zu erklären. Die Gesamtschichtdicke betrug 19 µm. Bei dem Verfahren können in der Resistoberfläche feine Risse entstehen, die sich allerdings nur an der Oberfläche befinden und keinen erkennbaren Einfluss auf die Qualität des Formeinsatzes haben.
Eine weitere Möglichkeit zur Lichtführung ist eine sprunghafte Veränderung der Filmdicke des Wellenleiters (Abb. 5). 5) beschrieben im dickeren Bereich der effektive Brechungsindex. Für die Beschreibung der Bedingungen für die Lichtleitung wird die Struktur auf die in Abb. 5 dargestellten Filmwellenleiter zurückgeführt (EffektivIndex-Methode) [26]. B. vergrabene Wellenleiter. Dadurch werden 9 2 Grundlagen kleinere Krümmungsradien und damit kompaktere Designs möglich. 4). 5: Rippenwellenleiter (unten) und zugehöriger verallgemeinerter Filmwellenleiter [26].
Es geht Energie in das Substrat verloren (Substratmoden). 4. Die Lösung 0 < β < k0 · n1 führt zur Abstrahlung der Welle in den Raum. Man kann erkennen, dass β zwischen k · n3 und k · nr liegen muss, damit eine Mode geführt werden kann. Die Lösungen gelten nur für diskrete β , die möglichen Moden eines Leiters. Die Moden werden allerdings auch für diesen Fall nicht vollständig im Wellenleiter geführt. 3 sehen kann, liegt ein Teil der Welle außerhalb des Lichtwellenleiters. Dieser Teil wird evaneszentes Feld der Mode genannt.
Herstellung photonischer Komponenten durch Heißprägen und UV-induzierte Brechzahlmodifikation von PMMA by Mathias Bründel
by Christopher
4.5